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产品型号
CG-H20 - 
       
厂商性质
生产厂家 - 
       
更新时间
2025-10-13 - 
       
浏览次数
360 
产品描述
HMDS增粘涂胶机应用于在匀胶前的硅片等基片表面均匀涂布一层HMDS(六甲基二硅氮烷)。作用:降低HMDS处理后的硅片接触角,进而降低匀胶时光刻胶在硅片表面铺展开的难度,提高光刻胶与硅片的黏附性,降低光刻胶的用量。
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全柜式涂胶显影一体机概述: SHD6-BE涂胶显影系统一体机主要由匀胶单元、烤胶单元、显影单元等部分组成,该设备针对高校研究所实验室,特点是占地面积小,性价价比更高。整机采用框架结构,外表为不锈钢或者PP,无尘且不吸附颗粒,采用7寸操作界面控制,带FFU、上排风接口、腔体为黄色灯、重力排废接口、且每个模块均可独立工作,操作方式为手动上下样品。
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桌上型成像仪MSD-150D主要应用于曝光后的显影工艺。该设备主要由显影腔单元、自动摆臂单元、以及供液系统、主轴系统、控制系统及排液系统等组成,整机采用框架结构,外表为镜面不锈钢,无尘且不吸附颗粒,工作方式为手动上下片,自动完成显影工艺。 桌上型成像仪显影单元基片采用真空吸附加四周挡板固定方式,采用进口伺服电机,保证转速、加速度、控制精度高,重复性好;供液系统采用厂务或者压力容器直接供液方式。
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