全柜式涂胶显影机该设备用于 8 寸晶圆的涂胶、显影、烘烤工艺；
设备包括主要的工艺模块：涂胶模块 COT,显影模块 DEV、热 盘 HP 等（各腔体间有挡板隔开）等，按需设计，多样化选择；
外观材料可选：PP，镜面不锈钢等；
滴胶方式：手动、自动多样化选择；

全柜式涂胶显影机操作模式：

设备采用操作人员取/送基片，自动完成涂胶、自动显影、自动烘烤处理的生产方式，操作人员通过触摸屏进行人机交互，完成生产配方和过程的控制。

全柜式涂胶显影机涂胶单元：

转速：5000 RPM（空载）

转速控制精度：±1RPM

转速调整量：1RPM

加速度范围：1000RPM/S 可设定

电机功率：0.4KW、0.75KW、1.75KW等

涂胶方式：手动\自动滴胶可选

滴胶模式：手动、针筒、压力罐、胶泵等多种方式可选

废液组成：光刻胶及其它液体

收集装置：废液收集后排放到设备内部的废液桶

处理尺寸：≤8英寸，其它规格尺寸可选

显影模块：

显影模块包括显影单元，化学品供应系统，化学品排放系统，有机气体排放系统

吸盘系统：真空吸附

转速：3000  转/分钟（负载）

转速控制精度： ± 1 转/分钟

最小转速调整量：1 转/分钟

加速度范围：5000RPM/S 可设定

电机功率：0.4KW、0.75KW、1.75KW等

防护罩材料：不锈钢

喷嘴组件，显影臂，驱动电机

显影方式：可实现定点，扫描，puddle 显影方式

喷头形式：扇形\柱形

显影喷嘴高度控制：手动调整

喷嘴组件，清洗臂，驱动电机

废液收集后排放到设备内部的废液桶。

废气来源：显影区域及防护罩内的挥发气体

废气排放：单元内部气体收集后直排厂务系统

管路：显影液、水、气、背洗等可选

处理尺寸：≤8英寸，其它规格尺寸可选

热板：

温度范围： RT~200℃;

温度均匀性：≤±1.5%%；

顶升功能：可选；

上位机软件：可选；

处理尺寸：≤8英寸，其它规格尺寸可选；

更多功能和处理尺寸需求可沟通详细了解。