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二、产品工作描述
2.1工艺步骤
涂胶(放片、滴胶、旋转、取片)→烤机(放片、烘烤、取片)→转移下道工序(曝光)→显影(放片、旋转显影和水洗、甩干、取片)→(转移下道工序)。
2.2控制系统
控制系统由7寸触摸屏和PLC控制模式,实时显示设备运行过程中各工艺功能执行情况。 可实现自由的配方编辑,自由修改、编辑、存储、及调用工艺配方等。
三、规格
项目/Item | 规格 |
主体
| 外观:不锈钢 模组:匀胶、热板、显影; |
旋转涂布模块 | 转速:20-5000 R.P.M 转速精度: ±1 rpm 加速度:350-10000RPM/S 减速度:350-10000RPM/S 时间:1-3000S 均匀性:≤2% 控制方式: PLC 配方:50组20步 附件:无油真空泵 吸盘规格(10mm、25mm、2英寸、4英寸、6英寸以及嵌入式可选) |
烤胶模块
| 温度范围:RT~300℃ 处理尺寸≤Ø200mm 温度均匀性≤±1.5% 控温精度±0.2℃ |
显影参数 | 处理样品尺寸:6寸以内 承盘:特氟龙 转速:20-3000 R.P.M 转速精度:±1RPM 摇臂:自动 药液装置:一路显影、一路水 配方:可多步编程和程序存储 附件:无油真空泵一台; 吸盘一只(4、6寸兼容) |
四、系统需求
项目 | 描述& 规格 |
系统需求 | 排风:160 m³/h 真空:>-60 Kpa 压缩空气:5kg 氮气/:3kg 水4*6mm 2.0Kgf/cm² 电压:220V\50HZ |
五、设备尺寸
5.1尺寸&重量
参考尺寸:(宽*深*高)1600*800*2000mm
重量: 300KG