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全柜式涂胶显影一体机
产品简介

一、概述
SHD6-BE涂胶显影系统一体机主要由匀胶单元、烤胶单元、显影单元等部分组成,该设备针对高校研究所实验室,特点是占地面积小,性价价比更高。整机采用框架结构,外表为不锈钢或者PP,无尘且不吸附颗粒,采用7寸操作界面控制,带FFU、上排风接口、腔体为黄色灯、重力排废接口、且每个模块均可独立工作,操作方式为手动上下样品。

产品型号:SHD6-BE
更新时间:2025-05-09
厂商性质:生产厂家
访问量:157
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二、产品工作描述

2.1工艺步骤

涂胶(放片、滴胶、旋转、取片)→烤机(放片、烘烤、取片)→转移下道工序(曝光)→显影(放片、旋转显影和水洗、甩干、取片)→(转移下道工序)。

2.2控制系统

控制系统由7寸触摸屏和PLC控制模式,实时显示设备运行过程中各工艺功能执行情况。 可实现自由的配方编辑,自由修改、编辑、存储、及调用工艺配方等。

三、规格

项目/Item

规格

主体

外观:不锈钢

模组:匀胶、热板、显影;

旋转涂布模块

转速:20-5000 R.P.M

转速精度: ±1 rpm

加速度:350-10000RPM/S

减速度:350-10000RPM/S

时间:1-3000S

均匀性:≤2%

控制方式: PLC

配方:50组20步

附件:无油真空泵

吸盘规格(10mm、25mm、2英寸、4英寸、6英寸以及嵌入式可选)

烤胶模块

温度范围:RT~300℃

处理尺寸≤Ø200mm

温度均匀性≤±1.5%

控温精度±0.2℃

显影参数

处理样品尺寸:6寸以内

承盘:特氟龙

转速:20-3000 R.P.M

转速精度:±1RPM

摇臂:自动

药液装置:一路显影、一路水

配方:可多步编程和程序存储

附件:无油真空泵一台;

     吸盘一只(4、6寸兼容)

四、系统需求

项目

描述& 规格

系统需求

排风:160 m³/h

真空:>-60 Kpa

压缩空气:5kg

氮气/:3kg

水4*6mm 2.0Kgf/cm²

电压:220V\50HZ

五、设备尺寸

5.1尺寸&重量

参考尺寸:(宽*深*高)1600*800*2000mm  

重量: 300KG

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