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一、全柜式涂胶显影一体机产品工作描述
1.1工艺步骤
涂胶（放片、滴胶、旋转、取片）→烤机（放片、烘烤、取片）→转移下道工序（曝光）→显影（放片、旋转显影和水洗、甩干、取片）→（转移下道工序）。
1.2控制系统
控制系统由7寸触摸屏和PLC控制模式，实时显示设备运行过程中各工艺功能执行情况。 可实现自由的配方编辑，自由修改、编辑、存储、及调用工艺配方等。
二、全柜式涂胶显影一体机规格
项目/Item | 规格 |
主体
| 外观：不锈钢 模组：匀胶、热板、显影； |
旋转涂布模块 | 转速：20-5000 R.P.M 转速精度: ±1 rpm 加速度：350-10000RPM/S 减速度：350-10000RPM/S 时间：1-3000S 均匀性:≤2% 控制方式: PLC 配方：50组20步 附件：无油真空泵 吸盘规格（10mm、25mm、2英寸、4英寸、6英寸以及嵌入式可选） |
烤胶模块
| 温度范围:RT~300℃ 处理尺寸≤Ø200mm 温度均匀性≤±1.5% 控温精度±0.2℃ |
显影参数 | 处理样品尺寸：6寸以内 承盘:特氟龙 转速：20-3000 R.P.M 转速精度：±1RPM 摇臂：自动 药液装置：一路显影、一路水 配方：可多步编程和程序存储 附件：无油真空泵一台； 吸盘一只（4、6寸兼容） |
三、系统需求
项目 | 描述& 规格 |
系统需求 | 排风:160 m³/h 真空:>-60 Kpa 压缩空气:5kg 氮气/:3kg 水4*6mm 2.0Kgf/cm² 电压：220V\50HZ |
四、设备尺寸
4.1尺寸&重量
参考尺寸：（宽*深*高）1600*800*2000mm
重量: 300KG
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