相关文章
MSC-150T可编程旋转涂布机,采用分体式结构设计,7英寸触摸屏,工业级直流电机及高级PLC控制,直观清晰的程序界面与设计,美观大方。适合涂胶处理Ø 10~150mm圆晶尺寸基片。该旋转涂布机结构紧凑、简单易用,可编程实现单步旋涂和多步编程旋涂。旋涂内腔可直接取下来,方便清洗。
桌上型旋转涂布机产品参数:
适用晶元尺寸范围:Ø10~150mm;
旋涂速度:100~10000rpm;
转速分辨率:1rpm;
旋涂加速度:100-10000rpm/s;
最大旋涂时间:3000s;
旋涂时间精度:0.1s;
可存储多种不同基片的旋转涂敷工艺参数。每个涂敷工艺流程可以设置多步不同的旋转速度;
产品外型尺寸:300mm(W)x 380mm(D) x 260mm(H);
腔体尺寸:Ø220mm;
重量:10KG;
电压:220V/50HZ;
配置:标配吸盘一组(10、25、50、100)mm、无油真空泵一台。
桌上型旋转涂布机产品特点:
旋涂内腔为耐酸碱材料PTFE,
采用分体式结构,易清洁和移动;
7英寸彩色触屏控制,易学易用;
精确设置实验参数,运行状态实时显示;
采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;
具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计;
更多需求可咨询,提供分体式、嵌入式等定制。