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12寸烤胶机/加热板
产品简介

12寸烤胶机/加热板HPR-12广泛应用于物理、材料冶金、高分子聚合物、生命科学等各个领域。在科研方面随着近几年半导体产业发展迅猛,针对旋转涂胶后、曝光后的烘烤、显影后的坚膜等工艺流程提供坚实的技术保障。

产品型号:HPR-12
更新时间:2025-05-22
厂商性质:生产厂家
访问量:214
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标准型烤胶机广泛应用于物理、材料冶金、高分子聚合物、生命科学等各个领域。在科研方面随着近几年太阳能电池效率屡创新高、半导体产业发展迅猛,在此背景根据不同用途本公司开发HPR系列加热产品。此款烤胶机是针对半导体工艺生产中晶圆烘烤而设计,加热模式可选择手动控温或软件控温。具有升降样品控制系统,适用多种尺寸硅片,使得样品在高温下快速降温。采用大功率加热,加热速度块,发热效率高。

12寸烤胶机/加热板产品参数:

烤胶机

供电电压

AC220V,50Hz

控溫方式

PID

 

处理尺寸

Up to Ф300mm wafer

功率

3200W

 

温度

室溫-300℃

升温速率

1-20℃/min,可控

 

温度均匀性

≤±2%

面板尺寸

330*330mm

 

控温精度

±0.2℃

重量

20KG

 

面板材质

铝合金表面镀陶瓷

整机尺寸

380mm*590mm*198mm

 

时间

9999S

编程

40段

 

12寸烤胶机/加热板可提供定制抽真空、充气氛,更多选择可咨询。

 

 

 

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