简要描述：CG-MLC6系列直写光刻机是一款精巧型光刻产品。该设备采用数字光刻技术，无需掩模 版，能够直接将版图信息转移到涂有光刻胶的衬底上。CG-MLC6系列功能灵活、体积小、性价比高，专为各高校、实验室及研究机构量身打造。其主要应用产品包括各类MEMS制作（如MEMS麦克风、压力传感器、 加速度计、陀螺仪、超声波传感器、压电传感器）、掩模板制作等。

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