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桌上型显影机MSD-150D:用于对显影均匀性和一致性要求较高的表面处理工艺,适合硅片、磷化铟、碳化硅、氮化镓等。主要应用于4、6寸晶圆及方片.适合高校、研究所和企业客户。
本司也提供8寸、12寸桌上型显影机,更多功能如吹气、背洗等请咨询。
桌上型显影机MSD-150D:显影单元基片采用真空吸附加四周挡板固定方式,采用进口伺服电机,保证转速、加速度、控制精度高,重复性好;供液系统采用厂务或者压力容器直接供液方式。
桌上型显影机MSD-150D控制系统由触摸屏和PLC控制模式,实时显示设备运行过程中各工艺功能执行情况。可实现自由的配方编辑,自由修改、编辑、储存、及调试用工艺配方等。
桌上型显影机技术规格:
项目  | 规格  | 
主体  | 外壳材质:镜面不锈钢 处理样品尺寸:6寸晶圆以内 承盘:PTFE 马达: 转速:20-3000 R.P.M 摇臂:自动 操作界面:7寸触摸屏  | 
显影装置  | 药液装置: 显影 x1(控温可选) DIW x1  | 
控制系统  | 系统: PLC 使用接口:7寸触屏 配方:手动和自动模式 编程 : 50 组 20 步  | 
安全装置  | 晶圆承盘真空渗液保护:  | 
真空检知: 数字设定:真空值下限保护 运行结束报警提示  | 
附件  | 真空泵x1 显影罐x1 去离子水罐x1 废液桶x1 真空吸盘x1  |