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桌上型成像仪

简要描述:桌上型成像仪MSD-150D主要应用于曝光后的显影工艺。该设备主要由显影腔单元、自动摆臂单元、以及供液系统、主轴系统、控制系统及排液系统等组成,整机采用框架结构,外表为镜面不锈钢,无尘且不吸附颗粒,工作方式为手动上下片,自动完成显影工艺。
桌上型成像仪显影单元基片采用真空吸附加四周挡板固定方式,采用进口伺服电机,保证转速、加速度、控制精度高,重复性好;供液系统采用厂务或者压力容器直接供液方式。

基础信息

产品型号

MSD-150D

厂商性质

生产厂家

更新时间

2025-08-20

浏览次数

683
详细介绍
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桌上型成像仪MSD-150D用于对显影均匀性和一致性要求较高的表面处理工艺,适合硅片、磷化铟、碳化硅、氮化镓等。主要应用于4、6寸晶圆及方片.适合高校、研究所和企业客户。

本司也提供8寸、12寸桌上型显影机,更多功能如吹气、背洗等请咨询。

桌上型成像仪技术规格:

项目

规格



主体

外壳材质:镜面不锈钢

处理样品尺寸:6寸晶圆以内

承盘:PTFE

马达:

转速:20-3000 R.P.M

摇臂:自动

操作界面:7寸触摸屏


显影装置

药液装置:

显影 x1(控温可选)

DIW  x1



控制系统

系统: PLC

使用接口:7寸触屏

配方:手动和自动模式

编程 : 50 组 20 步



安全装置

晶圆承盘真空渗液保护:

真空检知:

数字设定:真空值下限保护

运行结束报警提示



附件

真空泵x1

显影罐x1

去离子水罐x1

废液桶x1

真空吸盘x1




 
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