MAS4-BE光刻系统一体机主要由匀胶单元、烤胶单元、曝光单元、显影单元等部分组成，该设备针对高校研究所实验室，特点是占地面积小，性价价比更高。整机采用框架结构，外表为不锈钢，无尘且不吸附颗粒，采用PC工控机操作界面控制，带FFU、上排风接口、腔体为黄白两色灯、重力排废接口、且每个模块均可独立工作，操作方式为手动上下样品。

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