UV 光清洗机拥有工业级别的清洗效率和效果，采用更简易操作的抽屉式托盘设计，广 泛应用于光伏（钙钛矿电池），半导体芯片（晶圆）和光学元件及光通讯领域，适用于中小尺寸基片清 洗，如液晶面板，ITO，FTO，光学玻璃，OLED，LCD，硅片，陶瓷，金属片，聚合物，硅胶等表面清洗， 有效清洗基片的表面有机物，即进行表面改质，从而有效提高基片表面的亲水性或附着力。

应用领域：

■ 在进行薄膜沉积之前优良行基片清洗。清除浮渣和稳定化处理光刻胶。超高真空度密封。

■ 清洗硅芯片，透镜，反光镜，太阳能面板，冷轧钢，惯性引导零件和 GaAs 芯片

■ 清洁焊剂，混合电路以及平板 LCD 显示器

■ 蚀刻特氟隆，氟橡胶以及其它有机材料

■ 增强GaAs 和 Si 氧化物钝化表面

■ 增强玻璃的除气作用

■ 基片蓝膜去除

■ 增强塑料表面的镀膜的粘附性

■ 基片终测后墨迹清楚

■ 去除光刻胶

■ 平板显示器/液晶显示器

■ 去除光刻机台上的光刻胶残留物

■ 在电路板封装和打片之前清洗）

■ 光纤

■ 增强表面亲水特性

■ 为生物科学应用做清洗和消毒

■ 光学透镜

■ 其它应用

产品特点

触屏控制 ，适合实验室用 ，操作方便

304 不锈钢机身

密封圈采用氟胶密封 ，提高腔室的密闭性

设备占地面积小 ，可放于桌面或手套箱

臭氧排风功能 ，风速可调（ 80mm 接口 ，特殊要求可定制）

技术参数

面积：254mm*254mm

波长：185nm+254nm

灯管：一体式栅格型低压汞蒸汽排放灯

照射高度：基台距灯管·20m-100mm 可调

照射强度：80mw/cm2(平台位于最高处)

机器材质：304不锈钢

排风功能自带臭氧排风系统 ，可调节风速

电源输入：220VAC ，单相， 550W

灯管：250W ，寿命  8000 小时

清洗时间：0-999 分钟可设定

安全防护功能：当盖子打开时 ，灯管自动熄灭

人机界面：4.3 寸工业全彩触屏人机界面

外形尺寸：315mm(W)*528mm(D)*429mm(H)

其他配件

实验室用玻璃切割器 1 台

防潮柜 1 台 ：湿度控制:1%-10%RH 可设定

全钢结构通风橱 1 台:1500*870-880*2350-2360mm(长宽高)

本文展示只是其中一种型号，多种机型可选，6寸、12寸以及更大尺寸需求可咨询。