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桌上型半自动显影机MSD-150D用于对显影均匀性和一致性要求较高的表面处理工艺,适合硅片、磷化铟、碳化硅、氮化镓等。主要应用于4、6寸晶圆及方片.适合高校、研究所和企业客户。
本司也提供8寸、12寸桌上型显影机,更多功能如吹气、背洗等请咨询。
桌上型半自动显影机技术规格:
项目 | 规格 |
主体 | 外壳材质:镜面不锈钢 处理样品尺寸:6寸晶圆以内 承盘:PTFE 马达: 转速:20-3000 R.P.M 摇臂:自动 操作界面:7寸触摸屏 |
显影装置 | 药液装置: 显影 x1(控温可选) DIW x1 |
控制系统 | 系统: PLC 使用接口:7寸触屏 配方:手动和自动模式 编程 : 50 组 20 步 |
安全装置 | 晶圆承盘真空渗液保护: |
真空检知: 数字设定:真空值下限保护 运行结束报警提示 |
附件 | 真空泵x1 显影罐x1 去离子水罐x1 废液桶x1 真空吸盘x1 |