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产品简介
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针筒式旋转涂布机应用程序：
人工放置基板->启动真空吸附->基板吸附于转盘上 ->自动滴胶->旋转开启->低转速->中 转速->高转速->旋转停止->去边->破真空->人工取件。
针筒式旋转涂布机产品特点：
针筒式滴胶方式更适合科研和小批量生产，不用清洗管道；
整机用料扎实、750W进口伺服电机、适合更大更重样品；
吸盘平整度精细加工平磨，均匀性好，可达1%以内；
电气独立集成机身侧面，避免因腔体漏液到设备内部导致短路风险；
配置光胶过滤器，清洗保养方便，避免堵胶带来飞片风险；
真空负压数值显示和低真空报警，避免因负压不足带来飞片风险。
安全措施：
| 功能 | 规格 |
| 真空检知 | 面版上有数位显示计，低压报警 |
| 盖子检测 | 运行中开盖报警 |
| 防吸入光阻装置 | 加装于真空PUMP之前,预防光阻液吸入需定期清洁保养 |
| 电控箱 | 位置放在侧面，防止漏液带来短路风险 |
产品参数：
|
桌上型半自动旋转涂布机 | 供电电压 | AC220V,50Hz | 操作方式 | 7寸触控屏 |
| 转速 | 20~10000rpm | 滴胶方式 | 手动滴胶/自动 | |
| 加速度 | 350~10000rpm/s | 编程 | 可编程50组20步 | |
| 减速度 | 350~10000rpm/s | 均匀性 | 1% | |
| 转速分辨率 | 1rpm | 抽气接口 | Φ6mm快拧接口 | |
| 单步时间 | 3000s | 整机尺寸 | 650mm×500mm×550mm | |
| 基片尺寸 | 直径≤8英寸(200mm) | 整机重量 | 55kg | |
| 腔体材质 | PTFE | 光刻胶容器 | 胶泵、压力罐、美式针筒 | |
| 滴胶管路 | ≤3路（背洗、去边可选） | 核心配件品牌 | SMC、CKD、松下、西门子、小金井等 | |
| 排气系统 | 真空泵 | 干式机械泵 | ||
| 抽气速率 | 50L/min | |||
| 供电电源 | AC220V 50/60Hz | |||
可提供12寸晶圆（均匀性＜2%）、方片、胶泵滴胶、压力罐滴胶等多种滴胶方式，以满足不同产量要求，更多需求可咨询。
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