设备简介：
桌上型旋转涂布机，用于对均匀性要求较高的表面涂布工艺，将光刻胶溶液手动涂覆在硅片、磷化铟、碳化硅、氮化镓、铌酸锂等基片上形成薄膜，主要应用于12寸以内样品。

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