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掩模之光——桌上型成像仪(掩模对准曝光机)技术与选购要点
桌上型成像仪在本行业中通常指桌上型掩模对准曝光机,是微纳加工黄光工艺中将掩模版图案通过紫外光接触式或接近式曝光转移到涂敷光刻胶基片上的核心设备。它由紫外曝光光源系统(含汞灯或LEDUV源、滤光片、蝇眼匀光器)、高精度XYθ对准工作台(带真空吸附载片与掩模夹具)、分离视场显微镜对准观测系统、气动/手动压合机构及安全互锁系统组成。桌上型成像仪可在软接触、硬接触、真空接触或接近式多种模式下工作,典型分辨率可达0.5–2μm(依光学系统、间隙及光刻胶而定),适用于高校微电子、MEMS...
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钙钛矿旋涂仪——专为高效光伏器件成膜而生的惰性气氛旋涂方案
钙钛矿太阳能电池的光电转换效率已突破26%,其核心活性层——钙钛矿吸光层——通常采用一步法或两步法旋涂制备。然而,钙钛矿前驱液及中间相(如PbI₂溶液)对空气中的水和氧极度敏感,暴露在普通大气环境中会迅速发生水解或氧化,导致薄膜结晶质量差、缺陷密度高,最终影响器件效率与稳定性。钙钛矿旋涂仪正是针对这一痛点设计:它不仅是高精度旋涂设备,更强调与惰性气氛手套箱(N₂或Ar)的系统兼容性及反溶剂滴加的精准协同,为高质量钙钛矿薄膜的制备提供专属保障。与通用旋涂仪相比,钙钛矿旋涂仪在以...
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激光直写光刻机:基于激光光源的无掩膜光刻设备
激光直写光刻机是一种基于激光光源的无掩膜光刻设备,广泛应用于科研和工业领域的微纳结构制造。光刻技术是半导体制造的核心工艺,传统掩模式光刻机如同“微缩复印机”,需先制作高精度掩模版,再通过投影曝光将图案转移至晶圆,适合大规模量产,但掩模版制作周期长达数周、成本高,且无法灵活适配设计变更。直写光刻机本质是一台高精度微纳“绘图仪”,核心由光源系统、光场调制模块(DMD/电子枪)、精密投影物镜、纳米级运动平台、图形数据处理系统五部分组成。其核心逻辑是计算机直接驱动光束,无需掩模,...
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精准点滴,均匀成膜——针筒式旋转涂布机赋能科研与中试精密工艺
在半导体光刻、微电子MEMS结构开发、柔性电子材料制备以及先进光电器件研发等领域,薄膜涂布的均匀性与一致性是决定器件性能上限的关键指标。传统的手工滴胶方式往往受限于操作人员的手法差异,容易导致涂液分布不均、浪费昂贵试剂,甚至引入颗粒污染,影响实验的可重复性。为满足科研探索与小批量中试生产对高精度、低污染及节材型涂布工艺的迫切需求,我们推出了新一代针筒式旋转涂布机。该设备将自动化流体控制技术与高精度旋涂平台融合,为现代实验室提供了稳定可靠的薄膜制备解决方案。核心优势:自动化针筒...
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小巧身躯,大国重器——桌上型旋转涂布机打造实验室级高精度匀胶平台
在纳米材料研究、生物医学芯片开发、集成电路设计验证以及光学器件原型制造等前沿科学领域,获得超薄且厚度高度均一的涂层是许多突破性实验成功的前提。然而,大型产线级的涂布设备造价昂贵、占地庞大,并不适合大多数研发实验室或洁净室手套箱内的使用场景。我们的桌上型旋转涂布机应运而生——它以极简的桌面占用空间、接近工业级的涂布精度以及高度灵活的编程能力,成为连接基础研究与小试生产之间重要的桥梁。灵活架构:从通用台面到受限空间(手套箱)的适配桌上型旋转涂布机系列提供了丰富的结构选择。标准型号...
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自动滴胶匀胶机:智能一体化,提升涂覆效率与精准度
在大规模精密生产、科研实验等场景中,传统匀胶机需人工滴胶、手动操作,不仅效率低下,还易因人为滴胶不均、滴胶量偏差影响涂覆效果,无法满足高效、精准的涂覆需求。自动滴胶匀胶机在传统匀胶机的基础上,整合自动滴胶系统与智能控制系统,实现滴胶、匀胶一体化作业,凭借智能精准、高效便捷、稳定可靠的核心优势,适配精密涂覆场景,广泛应用于半导体制造、微电子封装、光学元件加工、生物芯片制备等领域,成为涂覆领域的核心装备。自动滴胶匀胶机的核心优势在于自动滴胶与精准匀胶的融合,实现涂覆全流程智能化,...
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简述针筒式旋转涂布机的技术原理与核心优势
针筒式旋转涂布机是一种高精度表面涂布设备,通过结合旋转离心力和针筒定量供料技术,实现胶液、涂料或油墨在基材表面的均匀覆盖,尤其适用于对涂层均匀性和一致性要求严苛的场景。通过针筒滴加胶液,并利用高速旋转产生的离心力将胶液均匀涂覆在硅片、玻璃、碳化硅、氮化镓等基底表面的精密涂膜设备,广泛应用于半导体、微电子、光电子和科研领域。该设备适用于对涂层均匀性要求较高的工艺,如光刻胶涂布、钙钛矿薄膜制备等。其核心工作流程包括:基片固定→真空吸附→针筒自动或手动滴胶→多阶段旋转(低速→中速→...
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关于光学膜厚仪的基本工作原理阐述
光学膜厚仪作为一种基于光的干涉原理进行薄膜厚度测量的精密仪器,在半导体、光学、显示、新能源等多个领域广泛应用。通过光的干涉现象来准确测量薄膜厚度,其核心原理是分析反射光的干涉光谱,结合材料的光学特性反演出膜厚,具有非接触、无损、高精度的特点。光学膜厚仪基于光的干涉原理工作:光波传播与反射:当光波照射到薄膜表面时,部分光在薄膜上表面反射,另一部分穿透薄膜并在薄膜与基底的界面发生二次反射。干涉图样形成:两束反射光因光程差产生干涉。若相位相同则相长干涉(光强增强),相位相反则相消干...
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花几分钟时间一起了解下桌上型显影机的特点及应用场景
桌上型显影机是半导体制造中用于晶圆显影工艺的关键设备,它能在封闭环境中通过旋转和喷淋准确控制显影过程,确保图案转移的精度。其工作核心是配合光刻胶使用,通过化学作用去除基片上曝光区域(正性光刻胶)或未曝光区域(负性光刻胶)的光刻胶,还原出光刻掩膜版的精细图案,全程需准确控制显影时间、温度、显影液浓度/流速等参数,保证图案显影的精度和一致性。桌上型显影机为一体化桌面式设计,结构紧凑,核心由主机腔体、控液系统、温控系统、传动/旋转系统、控制系统、气路系统六大模块组成。技术特点高精度...
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直写光刻机:无掩模灵活制造先锋,赋能科研创新与定制化生产
在芯片设计快速迭代与定制化需求激增的背景下,传统光刻技术依赖掩模版的制造模式面临成本高、周期长的瓶颈,尤其难以适配小批量、多品种的科研研发与特色芯片生产需求。直写光刻机作为一种无掩模光刻技术,通过电子束、激光等直接在晶圆或基板上“书写”电路图案,无需制作昂贵的掩模版,大幅缩短了从设计到验证的周期,成为支撑芯片科研创新与定制化生产的核心装备。其广泛应用于AI芯片快速迭代验证、先进封装、MEMS器件研发、MicroLED制造等领域,尤其在小批量高性能芯片生产、科研院所前沿技术研究...
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程控烤胶机的主要结构及功能介绍
程控烤胶机是一种用于准确控制烤胶过程的设备,广泛应用于半导体、微电子、材料科学等领域。程控烤胶机通常采用电加热方式,利用电热合金丝等发热材料,将电能转化为热能。通过温度传感器实时监测加热板的温度,并将数据反馈给控制系统,控制系统根据设定的温度值自动调节加热功率,以实现准确控温。主要结构加热部件:是烤胶机的核心部分,由加热板、发热元件等组成,其性能直接影响温度均匀性和加热效率。电控系统:包括控温仪、继电器、热电偶等,用于控制和监测加热过程,实现准确控温和程序控制。机箱:用于容纳...
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匀胶机在半导体及精密器件制造中的应用与操作要点
匀胶机是半导体晶圆、光学镜片、精密传感器等器件制备过程中,实现高精度薄膜涂覆的核心设备,其基于旋转离心力原理,将液态光刻胶或功能涂层均匀涂覆在基片表面,直接影响器件的性能与良率。一、匀胶机的工作原理与核心结构匀胶机的工作过程分为滴胶、低速旋转、高速旋转、甩胶回收四个阶段。滴胶阶段将定量胶液滴在基片中心;低速旋转使胶液均匀铺展覆盖基片表面,避免高速旋转时胶液飞溅;高速旋转阶段依靠离心力,让胶液在基片表面形成厚度均匀、一致性高的薄膜,薄膜厚度与转速呈负相关;最后,多余胶液被甩入回...
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