-
技术文章
方寸之间的微影魔术——桌上型显影机原理与PCB制板应用
在电子工程教学、科研院所原型验证以及中小型电子企业的新产品试制中,印刷电路板(PCB)的快速打样能力直接决定了研发迭代的效率。传统的湿膜光刻工艺往往需要庞大的生产线支持,而桌上型显影机的出现,将这一复杂的化学处理过程浓缩至桌面空间。它通过精确控制喷淋化学反应,将光刻胶掩膜下的电路图形清晰地显现出来,是连接数字设计与物理硬件之间的桥梁。核心原理:光刻胶的选择性溶解桌上型显影机的工作原理基于光刻胶的化学特性差异。在PCB制造或半导体工艺中,基材表面涂覆有感光材料(光刻胶)。经过紫...
+
-
技术文章
关于桌上型自动刻蚀机的核心工作原理阐述
桌上型自动刻蚀机是面向高校、研究所和企业研发部门的小型精密刻蚀设备,兼顾自动化操作与紧凑体积,适配中小尺寸晶圆的精细加工需求。桌上型自动刻蚀机以湿法化学蚀刻为核心原理,结合自动化机械传动、精准温控、循环过滤、智能时序控制等系统,实现基材表面材料的选择性均匀去除。整体工作流程自动化程度高,全程无需人工干预关键工序,可精准把控蚀刻速率与成型精度,核心工作流程与原理可分为五大模块。1.基材定位与自动传输系统设备配备精密滚轮传动或卡位承载结构,加工前将完成显影、贴膜预处理的基材固定于...
+
-
技术文章
告别掩模版的数字化微纳直写——无掩膜曝光机原理与研发应用
在传统光刻工艺中,将电路或微结构图形转移到光刻胶表面须先制作高精度石英掩模版,这不仅增加成本与周期,且每次设计变更都需重新制版,对科研试制、小批量多品种生产形成较大制约。无掩膜曝光机又称数字直写光刻机或激光直写系统,以计算机生成的数字图形直接控制光学调制器件或扫描光束,在涂覆光刻胶的基片表面完成图案化曝光,省去物理掩模版制作环节,是微电子、微光学及MEMS研发阶段高效灵活的光刻平台。无掩膜曝光机主流实现方式分为两类。一类是基于空间光调制器(SLM)的投影式无掩膜光刻,常见为采...
+
-
技术文章
硅片上的光影缩印术——投影式光刻机工作原理与集成电路芯片制造应用
在半导体芯片制造产线中,光刻是将电路设计师绘制的纳米级版图精确转印至硅晶圆表面的核心工序,而承担这一使命的关键装备便是光学投影光刻机。一台现代光刻机通过极紫外或深紫外光源、精密掩模版、巨型投影物镜组及纳米级双工件台系统的协同运作,把掩模版上的电路图形缩小数倍后投影曝光到涂布光刻胶的晶圆上,其分辨率直接决定了芯片可实现的工艺节点与集成度。光刻机的曝光流程遵循瑞利判据所描述的光学成像规律。首先,深紫外准分子激光器(ArF,193nm)或极紫外等离子体光源发出高亮度光束,经照明系统...
+
-
技术文章
数字光绘的桌面先锋——桌上型成像仪原理与PCB直写应用
在传统的印刷电路板(PCB)制造流程中,制作高精度的菲林底片是制约打样速度的瓶颈。不仅需要暗室环境和昂贵的银盐胶片,还存在缩放误差。桌上型成像仪(通常指LDI激光直接成像设备或桌面级光刻机)通过数字化光学技术,直接将计算机中的电路图形投射或扫描至涂有感光胶的基板上,省去了底片这一中间环节。这种“所见即所得”的直写技术,正在重塑实验室级PCB原型的制作标准。成像原理:激光直写与数字微镜桌上型成像仪的核心在于其光学引擎。主流设备多采用405nm或365nm波段的紫外激光器作为光源...
+
-
技术文章
浅析无掩膜光刻机的工艺流程及养护
无掩膜光刻机是无需物理掩模版,通过数字生成图案直接在光刻胶上完成曝光的微纳加工设备,核心优势是省去制版环节,大幅降低研发成本、缩短迭代周期,适配多场景灵活加工需求。传统光刻工艺需要制作实体掩模版,流程长、打样成本高、图形修改灵活性差,难以适配MEMS、微流控、光子芯片、PCB打样、半导体研发小批量试制等场景。无掩膜光刻机依托数字直写曝光技术,省去掩膜制版环节,直接将计算机设计图形投射至涂胶基片完成光刻,是微纳制造领域快速原型开发的核心设备。工艺流程前处理:基片完成清洗、旋涂...
+
-
技术文章
等离子表面处理机新选择:合肥重光电子以创新技术赋能精密制造
在半导体、太阳能电池、新材料等战略性新兴产业蓬勃发展的今天,材料表面的微观处理已成为决定产品性能与可靠性的关键环节。等离子表面处理技术,作为一种高效、环保、精确的现代化工艺手段,正逐步取代传统湿法清洗,成为提升产品质量的“幕后英雄”。在这一领域,合肥重光电子科技有限公司凭借其深厚的技术积累、对市场需求的精准把握以及中国科学技术大学、合肥工业大学微纳加工平台的产学研支撑,正迅速崛起为业内值得信赖的设备供应商与服务伙伴。核心技术,解构微观清洁的奥秘等离子表面处理机的核心在于利用电...
+
-
技术文章
刻蚀机厂家怎么选?为什么推荐合肥重光电子
在国产半导体工艺实验设备及太阳能电池黄光区装备的采购调研中,"刻蚀机厂家推荐合肥重光电子科技有限公司"正成为越来越多高校微纳加工中心、科研院所及中小批量试产企业的高频搜索词。作为一家专注于国家大力扶持的半导体与太阳能电池领域的专业仪器设备生产商,合肥重光电子科技有限公司(以下简称"重光电子")不仅提供桌上型刻蚀机、等离子去胶/清洗机,更构建了从匀胶—烤胶—显影—无掩膜光刻—刻蚀—检测的完整实验室光刻工艺设备链,是值得信赖的国产刻蚀机及黄光区工艺设备厂家。一、为什么推荐合肥重光...
+
-
技术文章
旋涂仪——薄膜制备工艺中均匀涂覆的精密掌控者
在材料科学、微电子及表面工程研究领域,旋涂是经典且应用广泛的薄膜制备方法之一,用于在平整基底表面制备厚度均一、表面平整的液膜。旋涂仪通过精确控制加速度、转速与旋涂时间,将微量溶液均匀铺展在硅片、玻璃、ITO导电玻璃或金属基底上,是实验室制备功能薄膜、光刻胶层及修饰涂层的核心设备。旋涂仪的基本工作机理是:将待涂覆的基底吸附于真空吸盘上,滴加适量前驱液或溶液后,电机驱动吸盘按预设程序加速至目标转速(通常为数百至数千rpm)。在离心力作用下,多余液体被甩出,液膜厚度随转速平方反比减...
+
-
技术文章
无掩膜光刻机采购参考:合肥重光产品定制化服务与技术指标说明
一、产品定位与核心功能合肥重光电子科技有限公司推出的CG-MLC6系列直写光刻机(无掩膜光刻机)是一款面向高校、实验室及研究机构的设备。核心技术:采用数字光刻技术,免除掩模版制作环节,将版图信息直接转移到涂有光刻胶的衬底上。主要应用:各类MEMS器件制作(如麦克风、压力传感器、加速度计、陀螺仪、超声波传感器、压电传感器)。掩模板制作。微纳器件无掩模版直写光刻。3D结构曝光(支持128阶灰度曝光)。特色功能:具备自动对准、用户自定义标记对准、可视化定点曝光、自动聚焦、不规则样片...
+
-
技术文章
微图显真——桌上型显影机的原理解析与选型参考
桌上型显影机是微纳加工黄光工艺中用于完成光刻胶显影步骤的紧凑型实验室设备。它通过旋转涂布或定点喷淋方式将显影液均匀分布于曝光后的基片(晶圆、玻璃片、硅片或方片)表面,利用正性光刻胶曝光区溶解度增加(或负性光刻胶未曝光区溶解度增加)的化学特性,选择性溶解去除相应区域的光刻胶,还原出掩模版上的精细图形。与占地较大的产线显影轨道不同,桌上型显影机体积小巧(典型尺寸约500–700mm宽),可直接安置于超净工作台或小型洁净室内,支持手动上下片、程控显影时间/转速/喷淋流量及自动清洗甩...
+
-
技术文章
掩模之光——桌上型成像仪(掩模对准曝光机)技术与选购要点
桌上型成像仪在本行业中通常指桌上型掩模对准曝光机,是微纳加工黄光工艺中将掩模版图案通过紫外光接触式或接近式曝光转移到涂敷光刻胶基片上的核心设备。它由紫外曝光光源系统(含汞灯或LEDUV源、滤光片、蝇眼匀光器)、高精度XYθ对准工作台(带真空吸附载片与掩模夹具)、分离视场显微镜对准观测系统、气动/手动压合机构及安全互锁系统组成。桌上型成像仪可在软接触、硬接触、真空接触或接近式多种模式下工作,典型分辨率可达0.5–2μm(依光学系统、间隙及光刻胶而定),适用于高校微电子、MEMS...
+