简要描述：喷胶机是一种把液体先雾化成细小液滴，再用气流/喷头运动把“雾"均匀送到工件表面，最后通过流平 + 溶剂挥发/热固化形成连续薄膜的设备。适应性强、材料利用率高"。
应用领域：
- 半导体/微电子（光刻胶喷雾涂覆）：高深宽比结构、TSV、MEMS、异形衬底、厚胶/超薄胶的精细控制
- 光电/光学：AR/VR镜片、玻璃/石英上的均匀薄层涂覆。

一、设备概况

1.1 设备名称：8 寸喷雾涂胶机；

1.2 设备型号：MSSC-200F；

1.3 整机尺寸（约）：1000mm（长）*1000mm（宽）* 2200mm（高含三色灯）；

1.4 整机重量（约）：250KG；

1.5 操作台面高度：850mm；

1.6 基片尺寸规格：8 寸以内晶圆

1.7 设备类型：半自动，手动上下片；

二、设备构造

2.1 外壳：SUS304 不锈钢；

2.2 腔室：耐腐蚀,易清洁；

2.3 管路：管路位于机台下/后部，管道采用 PU 与PFA 配套使用管路；

2.4 摆臂：XY轴自动摆臂；

2.5 工作照明：黄光照明

2.6 触摸屏：全彩触摸屏；

2.7 电气部分: 采用 PLC 控制，电气控制部分位于机台内部，与湿区隔离；

三、安全保护

3.1 设备具备手动操作、故障报警、安全保护功能；

3.2 漏电保护：设备电器件密闭且与液路部门隔离，具备漏电断路保护装置；

3.3 漏液检测：设备底部装有防漏液装置；

3.4 紧急及警报系统：设备操作位置具备急停开关设备,有可靠的接地装置；

3.5 真空报警：真空不足报警，异常报警的情况下将严禁运行设备；

四、设备详细说明

4.1 整机

4.1.1 设备为柜式操作设计。

4.1.2 适用于晶圆或平面、曲面的光学材料的喷雾涂胶工艺；

4.1.3 设备主要由胶腔单元、喷胶系统、光刻胶供应系统、加热单元、排放单元、电控单元等组成。

4.1.4 喷涂单元控制集成在一块触摸屏上，所有工艺参数设置均可在此面板上进行 ;

操作界面简洁，软件系统具有工艺设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面，配方编制、储存、调用灵活。

4.1.5 设备配置触摸屏显示及控制界面；

4.1.6 PLC 模块控制；

4.1.7 机台设有急停开关、电源开关和待机、故障、运行状态显示灯。

4.1.8 柜体下部设计为可开门式，里面可盛放液罐等物品。

4.2 喷涂单元

喷涂单元共用同一腔室,包含 主轴电机及吸盘、喷胶机构、加热机构、排风、废液回收等功能 ;